真空电机的新标杆

为了尽量减少不必要的化学反应或生产过程和周围设备带来的污染，越来越多的高科技应用需要真空解决方案，例如：

• 光刻
• 检测
• 平板显示
• 科学与航空航天

真空环境中最大的挑战之一是热传热和运动。第 2 代真空电机的封闭式设计针对低发热和安装进行了优化。这些功能允许简单的系统设计，适合在一个系统中集成多个电机。

拥有成本

真空级直线电机没有运动部件，无摩擦，这使得电机免维护。Tecnotion的真空无铁芯电机可以整体放置在高真空环境中，因此不需要穿通连接，从而节省了成本。真空直线电机的初始投资可能高于其他驱动系统，但由于维护成本低，从而降低了总体拥有成本。

极低的放气

生产过程会受到运动系统放气的影响。真空无铁芯直线电机的线圈单元和磁轨是特殊设计的，适用于高达10^-8 mBar 的高真空，在系列产品中可提供最低的放气量。
对于一些应用而言，低放气量至关重要的，因此 Tecnotion 对此进行了全面测试，我们的支持团队可以为您提供精确的规格和性能细节。

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