第二代真空电机
用于强大而精确的生产制造
探索平板显示制造需要能够频繁在真空环境中移动重负载机器,以防止显示屏受到污染。这需要用到一个或多个具有高推力输出的电机,特别是性能在真空环境中受限时。
我们花在电子屏幕上的时间是很多的。电视、智能手机和电脑屏幕都有一个共同点,屏幕通常是平板显示屏。平板显示制造过程往往面临需要在真空中移动重负载和制作图形的挑战。
由于Tecnotion真空直线电机的独特设计和在洁净室内部进行制造,因此它具有最小的放气量和最佳的清洁度。所有真空电机都满足显示屏制造所必需的特性。真空电机与高质量真空级编码器的组合确保了亚微米级的精度。

对于某些应用,将有铁芯真空磁板与标准有铁芯电机线圈结合使用,可以更好地进行运动。在这种情况下,将电机线圈放置在真空环境外部,磁板放置在真空内部。两者之间的气隙将比正常情况大,会带来一些推力损失。但是,真空环境外的有铁芯电机仍能比无铁芯真空电机产生更大的推力。此外,有铁芯电机线圈在真空环境外具有更好的冷却机会。
对于许多沉积、蒸发和溅射过程,如CVD、PVD和ALD,也用于显示制造,需要在真空中进行传输或运动。这些生产线由进行沉积工艺的不同腔室组成。这可以由磁板运动的直线电机构成真空输送系统来实现。
在Tecnotion内部,我们有专家可以就您的整体应用提供咨询,而不仅仅是电机层面。因为这种系统的整合需要与要求密切匹配。除了运动要求外,在电机尺寸受真空腔物理空间限制的场合,还必须考虑环境和温度条件。

真空系列 | 目录样册 | 1.6
有铁芯电机 | 目录样册 | 4.2
有铁芯电机 | 研讨会 | Version 1.0
无铁芯电机 | 白皮书 | version 2.0
为给定的应用找到合适的电机有时是一项艰巨的任务。在线仿真选型工具旨在使该过程尽可能简单。只需 4 步即可找到合适的电机。
