真空级无铁芯直线电机是我公司U系列无铁芯直线电机的姊妹版,其线圈组和磁轭专门设计用于低达10^-8 mBar的高真空环境。
该系列电机保留了我公司常规无铁芯直线电机的特点:重量轻、精度超高。同时该系列电机运动极其平稳,并且其放气量在同系列产品中最低。
在某些应用中低放气量非常重要,因此我公司对其进行了严密的测试。如果客户有需要,还可以提供原样测试要求和详细性能参数。
真空中的热管理是一个大难题。有鉴于此,我公司设计的线圈组热阻(Rth)极低,线圈组热量能快速传递出去。该电机集成有温度和断路传感器,全程对电机进行过热保护。
这种电机对很多行业都有用,主要应用行业举例如下:
- 半导体
- 平板显示器
- 检查台
- 平板印刷
- 电子束/离子束设备
